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  • 10-20

    2023

    国产光刻机获重大突破,ASML如何应对?

          中国科学院院士、中国科学院党组书记白春礼于4月13日访问长春光机所,调研EUV光源等技术,高度肯定光电关键核心技术攻关成果。国产光刻机获重大突破,这次官方证实我国研发EUV光源系统具有重要...