基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰
海洋光学(Ocean Optics)长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持,同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪,基于光学发射光谱技术,...
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2023
海洋光学(Ocean Optics)长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持,同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪,基于光学发射光谱技术,...