中微推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW

中国上海，2023年5月9日—— 近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备Preforma...

中微公司推出12英寸薄膜沉积设备Preforma Uniflex™ CW

近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称"中微公司"，上交所股票代码：688012）推出自主研发的12英寸低压化学气相沉积(LPCVD)设备PreformaUnif...