在光刻机新技术的研发上, 我们似乎又掉队了

目前全球仅4家厂商，能够制造光刻机，分别是荷兰的ASML，日本的尼康、佳能，和上海的微电子。从技术水平来看，ASML>尼康>佳能>上海微电子。如下图所示，ASML的光刻机能够达到3n...