EMERSON SLS1508实时监测和控制设备的运行状态

记录

记录用来记录事件，状态和过程顺序。记录文件可以存储在硬盘上，通过显示器显示并输出到打印机或数据媒介如CD. DVD或闪存用于深入分析。另外存档文件可以自动通过FTP传送到以太网上的任意点。DigiBrowse软件可以用来显示数据并把数据转化为ASCII (CSV文件)如可以使用Excel进行深入分析。

有以下记录类型: 

信号顺序记录

信号顺序记录用来记录事件，如过程和系统信息，切换信息和提示。甚至操作员的干预操作可以连同用户名和时间标记一起详细记录下来。用户可以决定记录哪种优先级的信息。可以以2ms的精度记录下整个系统的事件(顺序事件)。信号顺序记录

可以连接行式打印机，这样每当收到报警就可以打印出来。

系统记录

在特定的间隔或特定的条件下，系统记录过程变量的当前值或状态。

它可以周期性运行，或通过手动或事件控制起停。输出的格式可以自由定义。

干扰源原因记录

干扰源原因记录用来检查扰动的原因。

扰动前后的测量值都以高时间分辨率记录在控制器中并存档在操作员站中。

在同一操作员站上可以配置每种类型的四个记录。

Applied Materials 0040-09002 Body, Etch Chamber AMAT

Applied Materials 0010-20819 MAGNET ASSY UNCHARGED 13TI *** AMAT

136-0401 AMAT APPLIED 0240-01704 ETCH CORROSION [NEW]

676110  SEAL PLATE  APPLIED MATERIALS AMAT

J-tech Applied Materials parts inventory 3

Applied Materials 0010-76018 Cassette Handler, Top 150 MM AMAT P-5000

108-0301 AMAT APPLIED 0010-20819 APPLIED MATRIALS COMPONENTS USED

0010-05223  ASSEMBLY, 200MM PLASMA CELL, END PT DETE  APPLIED MATERIALS AMAT 

Applied Materials 0010-22813 ESC ASSY, 200MM, EMAX CT, VHF AMAT

135-0101 AMAT APPLIED 0010-03485 MAGNET ASSY, WP AL 300MM PVD [ASIS]

J-tech Applied Materials parts inventory 2

29684 APPLIED MATERIALS SPINDLE ASSY, LK REFLEXION W 0040-82128 0020-44857

10228 APPLIED MATERIALS GAS BOX, COOLING, 200MM TI-XZ (NEW) 0040-39034

32537 APPLIED MATERIALS DEUBLIN FEEDTHRU ROTARY ASSY CENTER INJ SI 0190-00981

165-0101 AMAT APPLIED 0010-09001 SYSTEMS ELECTRONICS ASSY [ASIS]

Applied Materials 0010-16392 ESC ASSY,  300MM, DUAL ELECTRODE, IA AMAT

13938 APPLIED MATERIALS CNTRL MAGLEV ROT WNTC 300MM, PN: 710000171 0190-11669

28031 APPLIED MATERIALS 300MM PVD SHUTTER FEEDTHROUGH 0021-20825

0500-01083 ASSY ELECTRONIC HEATER-SUSCEPT<wbr>OR LEVELING APPLIED MATERIALS AMAT

32443 APPLIED MATERIALS MAGNET ASSY A-TYPE 13 AL, 0020-20297 0010-26439

134-0101 AMAT APPLIED 0020-01985 0020-01999 APPLIED MATRIALS COMPONENTS [ASIS]

32559 APPLIED MATERIALS INUSA OZONE SNSR CTLR IF, 0190-35874 (PARTS) SCI PLUS

Applied Materials 0021-09601 DPS Metal Upper Chamber Body Assembly

354-0301 AMAT APPLIED 0010-27417 GEARBOX ASSY, SEALED GEARBOX, ENCORE II USED

0010-10932  ASSY, PLASMA APPLICATOR, LIQUID COOLED, RP  APPLIED MATERIALS AMAT

305-0101 AMAT APPLIED 0010-30012 (#1)MAGNETIC DRIVE ASSY, MC ROBOT P5000 [USED]

102-0201 AMAT APPLIED 0190-08067 AE PINNACLE 3152412-223C USED

30361 APPLIED MATERIALS ASSY, HIGH EFFICIENCY RF MATCH, HE, BIAS 0010-13627

26223 APPLIED MATERIALS HEATER LIFT, PRODUCER SE W SGMPH-01AAE-YA<wbr>11 0035-00371

0041-05779 AMAT Applied Materials CATHODE BASE